本文標題:原子力顯微鏡利用光學檢測法

原子力顯微鏡利用光學檢測法

原子力顯微鏡利用光學檢測法或隧道電流檢測法，可測得微懸臂
對應于掃描各點的位置變化獲得信息。

激光檢測原子力顯微鏡掃描探針顯微鏡家族中最常用的一種，說
明其工作原理。

原子力顯微鏡二極管激光器發(fā)出的激光束經(jīng)過光學系統(tǒng)聚焦在微
懸臂背面，并從微懸臂背面反射到由光電二極管構成的光斑位置
檢測器。

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