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本文標題:電子顯微鏡樣品減薄技術、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)
信息分類:站內新聞 新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-4-30 15:10:18
電子顯微鏡樣品減薄技術、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)
電子顯微鏡樣品復型技術只能對樣品表面性貌進行復制，不能對晶
體內部組織結構信息，受復型材料本身尺寸的限制，電鏡的高分辨
率本領不能得到充分發(fā)揮，但對基體組織仍是表面性貌的復制。
在這種情況下樣品減薄技術具有許多特點，特別是金屬薄膜樣品。
樣品減薄技術可以最有效地發(fā)揮電鏡的高分辨率本領。
電子顯微鏡樣品減薄技術能夠觀察金屬及其合金的內部結構和晶體
缺陷，并能對同一微區(qū)進行衍襯成像及電子衍射研究，把結構信息
聯(lián)系起來。
電子顯微鏡樣品減薄技術能夠進行動態(tài)觀察，研究在變溫情況下相
變的生核長大過程，以及位錯等晶體缺陷在引力下的運動與交互作用。
電子顯微鏡真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)作用是為保證電子光學系統(tǒng)正常工
作，防止樣品污染提供高的真空度。
電子顯微鏡真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)在一般情況下要求保持真空度。 電
源系統(tǒng)由穩(wěn)壓，穩(wěn)流及相應的安全保護電路所組成，其作用是提供掃
描電鏡各部分所需的電源。
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