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本文標(biāo)題:電子顯微鏡與掃描式電子顯微鏡

信息分類:站內(nèi)新聞　新聞來源：未知發(fā)布時(shí)間：2014-3-29 18:24:19

電子顯微鏡與掃描式電子顯微鏡

現(xiàn)代電子顯微鏡大多采用電磁透鏡，由很穩(wěn)定的直流勵(lì)磁電流通過

帶極靴的線圈產(chǎn)生的強(qiáng)磁場(chǎng)使電子聚焦。電子源是一個(gè)釋放自由電

子的陰極，柵極，一個(gè)環(huán)狀加速電子的陽(yáng)極構(gòu)成的。陰極和陽(yáng)極之

間的電壓差必須非常高，一般在數(shù)千伏到3百萬伏特之間。

它能發(fā)射并形成速度均勻的電子束，所以加速電壓的穩(wěn)定度要求不

低于萬分之一。樣品可以穩(wěn)定地放在樣品架上。此外往往還有可以

用來改變樣品移動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)、加熱、降溫。

電子顯微鏡的裝置探測(cè)器用來收集電子的信號(hào)或次級(jí)信號(hào)。真空裝

置用以保障顯微鏡內(nèi)的真空狀態(tài)，這樣電子在其路徑上不會(huì)被吸收

或偏向，由機(jī)械真空泵、擴(kuò)散泵和真空閥門等構(gòu)成，并通過抽氣管

道與鏡筒相聯(lián)接。

電源柜由高壓發(fā)生器、勵(lì)磁電流穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成。

電子顯微鏡按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯

微鏡、反射式電子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡等。

透射顯微鏡用于觀察不能分辨的細(xì)微物質(zhì)結(jié)構(gòu)；掃描式電子顯微鏡

主要用于觀察固體表面的形貌，也能與射線衍射儀或電子能譜儀相

結(jié)合，構(gòu)成電子微探針，用于物質(zhì)成分分析；發(fā)射式電子顯微鏡用

于自發(fā)射電子表面的研究。